半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？
2022/5/23 9:43:29 / 作者：廢氣處理設(shè)備公司 / 來源：山藝環(huán)保
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分，在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？下面為您做簡單介紹：
半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理辦法
采用RTO設(shè)備處理
RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水，凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達(dá)到99%以上，熱回收效率達(dá)到95%以上。
直接燃燒法處理
有機(jī)廢氣風(fēng)管廢氣收集→沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放。
以上就是《半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？》的全部內(nèi)容，山藝環(huán)保專注半導(dǎo)體廢氣處理13年，至今服務(wù)于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導(dǎo)體企業(yè)，中芯系覆蓋70%以上，擁有眾多半導(dǎo)體廢氣治理案例！如您有半導(dǎo)體廢氣處理需求，即刻聯(lián)系我們吧！
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